지원하는 웨이퍼 크기는 무엇인가요?

주요 규격인 6인치(150 mm), 8인치(200 mm), 12인치(300 mm) 웨이퍼를 지원합니다. 일부 장비는 복수 규격과 호환되며 고객 요구에 맞게 구성할 수 있습니다.