AR9000RR
12인치 전자동 링 프레임 다이싱 장비
| 가공 크기 | Φ12" | |
|---|---|---|
| 스핀들 | 구성 방식 | 싱글 스핀들 |
| 출력 | 1.2/1.8/2.4/3.0 kW at 30,000rpm | |
| 회전수 범위 | 3,000 - 60,000 rpm | |
| 블레이드 크기 | Maximum Φ58mm | |
| Y axis | 가공 가능 범위 | 210 mm |
| 최소 이송량 | 0.0001 mm | |
| 위치 결정 정밀도 | < 0.008 mm/210 < 0.002 mm/5 | |
| X axis | 가공 가능 범위 | 210 mm |
| Z axis | 이동 분해능 | 0.00005 mm |
| 반복 정밀도 | 0.001 mm | |
| θ axis | 최대 회전각 | 380° |
| 링 다이싱 정밀도 | ±50 μm | |
| 웨이퍼 위치 정밀도 | ±50 μm | |
| 단일 처리 시간 | 8 min/pcs | |
| 복수 장 처리 능력 | 최대 4장 동시 처리 | |
| 사용 전압 | Three-phase 380V 50Hz | |
| 장비 정보 | 폭·깊이·높이 | 2209×1554×2071 mm |
| 중량 | ≈ 2800 Kg |
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