AR9000RR
12インチ全自動リングフレーム対応ダイシング装置
| 加工サイズ | Φ12" | |
|---|---|---|
| スピンドル | 構成方式 | シングルスピンドル |
| 出力 | 1.2/1.8/2.4/3.0 kW at 30,000rpm | |
| 回転数範囲 | 3,000 - 60,000 rpm | |
| ブレードサイズ | Maximum Φ58mm | |
| Y axis | 加工可能範囲 | 210 mm |
| 最小送り量 | 0.0001 mm | |
| 位置決め精度 | < 0.008 mm/210 < 0.002 mm/5 | |
| X axis | 加工可能範囲 | 210 mm |
| Z axis | 移動分解能 | 0.00005 mm |
| 繰返し精度 | 0.001 mm | |
| θ axis | 最大回転角度 | 380° |
| リングダイシング精度 | ±50 μm | |
| ウェーハ位置決め精度 | ±50 μm | |
| 1枚処理時間 | 8 min/pcs | |
| 複数枚処理能力 | 最大4枚を同時処理 | |
| 使用電圧 | Three-phase 380V 50Hz | |
| 装置情報 | 幅・奥行き・高さ | 2209×1554×2071 mm |
| 重量 | ≈ 2800 Kg |
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