AR9000W
12インチ全自動精密ダイシング装置
| 加工サイズ | - | Φ8"、Φ12" |
|---|---|---|
| 構成 | スピンドル形式 | 2軸 |
| スピンドル | 出力 | 1.2/1.8/2.4/3.0 kW |
| 最高回転数 | 60000 rpm | |
| ブレードサイズ | - | 2" |
| Y1/Y2 axis | 最小送り量 | 0.0001 mm |
| 位置決め精度 | ＜0.002 mm | |
| ダイシング範囲 | 310 mm | |
| X-axis | 送り速度入力範囲 | 0.1-600 mm/s |
| Z1/Z2 axis | 最小送り量 | 0.0001 mm |
| 位置決め精度 | ≤0.001 mm | |
| θ axis | 位置決め精度 | ±15″ |
| 洗浄ステーション | 回転速度 | 100-3000 rpm |
| 洗浄方式 | 全自動洗浄・乾燥 | |
| 使用電圧 | - | Three-phase 380V 50Hz |
| 装置情報 | 幅・奥行き・高さ | 1255×1550×1880 mm |
| 重量 | 2100 Kg |
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