12형 세척 장치
AC1200
AC1200은 12인치 자동 세척 설비로 최대 12"또는 280 × 280mm 공작물 가공을 지원하며 작업 회전 속도는 100-1800rpm이다.이는 일련의 고동균형, 고신뢰성의 설계를 이어받아 특수작업대면을 맞춤형으로 제작할수 있다.PLC 전자동 터치 조작을 사용하여 다양한 세척 모드와 스마트 매개변수 편집을 지원하며 안전 보호가 완벽합니다.전체 크기는 650 × 670 × 1400mm, 무게는 약 100kg으로 대형 웨이퍼의 효율적인 세척 수요에 적합하다.
가공 치수
Φ 12" / 280x280 mm
| 분류 | 매개변수 이름 | 매개변수 값 |
|---|---|---|
| 작업 치수 | 최대 가공 치수 | Φ12"또는 사각형 280x280mm |
| 주축 | 작업 회전 속도 | 100-1800 rpm |
| 압축공기 | 공급 압력 | 0.5-0.8 MPa |
| 최대 소비량 | 150 L/min ANR | |
| DI 물 | 스트레스 | 0.25-0.4 MPa |
| 최대 소비량 | 6.0 L/min ANR | |
| N2 | 스트레스 | 0.25-0.4 MPa |
| 최대 소비량 | 200 | |
| 배풍 시스템 | 배풍량 | 2 m³/min |
| 기기 정보 | 전원 | 2상 220V ±10% |
| 너비 깊이 | 650x670x1400 mm | |
| 무게 | ≈ 100 Kg |
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