12英寸清洗设备
AC1200
AC1200 是 12 英寸自动清洗设备，最大支持 φ12" 或 280×280mm 工件加工，工作转速 100-1800rpm。它延续了系列高动平衡、高可靠性的设计，可定制特殊工作台面；采用 PLC 全自动触控操作，支持多种清洗模式与智能参数编辑，安全防护完善；整体尺寸为 650×670×1400mm，重量约 100kg，适配大尺寸晶圆的高效清洗需求。
加工尺寸
Φ 12" / 280x280 mm
| 分类 | 参数名称 | 参数值 |
|---|---|---|
| 工作尺寸 | 最大加工尺寸 | Φ12" 或 方形 280x280mm |
| 主轴 | 工作转速 | 100-1800 rpm |
| 压缩空气 | 供给压力 | 0.5-0.8 MPa |
| 最大消耗量 | 150 L/min ANR | |
| DI水 | 压力 | 0.25-0.4 MPa |
| 最大消耗量 | 6.0 L/min ANR | |
| N2 | 压力 | 0.25-0.4 MPa |
| 最大消耗量 | 200 | |
| 排风系统 | 排风量 | 2 m³/min |
| 设备信息 | 电源 | 两相 220V ±10% |
| 宽深高 | 650x670x1400 mm | |
| 重量 | ≈ 100 Kg |
