12インチ洗浄装置

AC1200

それはシリーズの高動平衡、高信頼性の設計を継続し、特殊な作業テーブルをカスタマイズすることができる、PLCの全自動タッチ操作を採用し、多種の洗浄モードと知能パラメータの編集をサポートし、安全防護が完備している、全体の寸法は650×670×1400 mm、重量は約100 kgで、大型ウエハの高効率洗浄ニーズに適している。

加工寸法

Φ 12" / 280x280 mm
分類 パラメータ名 パラメータ値
さぎょうすんぽう 最大加工寸法 Φ12”又は正方形280 x 280 mm
主軸 さぎょうかいてんそくど 100-1800 rpm
圧縮空気 きょうきゅうあつりょく 0.5-0.8 MPa
さいだいしょうひりょう 150 L/min ANR
DI水 プレッシャー 0.25-0.4 MPa
さいだいしょうひりょう 6.0 L/min ANR
N2 プレッシャー 0.25-0.4 MPa
さいだいしょうひりょう 200
はいきシステム 排気量 2 m³/min
デバイス情報 電源 二相220 V±10%
幅深さ高さ 650x670x1400 mm
重さ ≈ 100 Kg

カスタマイズソリューションが必要ですか?

技術専門チームがお客様に最適な装置構成を提案し、導入から運用まで一貫した技術サポートをご提供します。

技術専門家に相談する