

12インチ洗浄装置
AC1200
それはシリーズの高動平衡、高信頼性の設計を継続し、特殊な作業テーブルをカスタマイズすることができる、PLCの全自動タッチ操作を採用し、多種の洗浄モードと知能パラメータの編集をサポートし、安全防護が完備している、全体の寸法は650×670×1400 mm、重量は約100 kgで、大型ウエハの高効率洗浄ニーズに適している。
加工寸法
Φ 12" / 280x280 mm
| 分類 | パラメータ名 | パラメータ値 |
|---|---|---|
| さぎょうすんぽう | 最大加工寸法 | Φ12”又は正方形280 x 280 mm |
| 主軸 | さぎょうかいてんそくど | 100-1800 rpm |
| 圧縮空気 | きょうきゅうあつりょく | 0.5-0.8 MPa |
| さいだいしょうひりょう | 150 L/min ANR | |
| DI水 | プレッシャー | 0.25-0.4 MPa |
| さいだいしょうひりょう | 6.0 L/min ANR | |
| N2 | プレッシャー | 0.25-0.4 MPa |
| さいだいしょうひりょう | 200 | |
| はいきシステム | 排気量 | 2 m³/min |
| デバイス情報 | 電源 | 二相220 V±10% |
| 幅深さ高さ | 650x670x1400 mm | |
| 重さ | ≈ 100 Kg |
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