8英寸双轴全自动精密划片设备
AR6820
AR6820 是一款 8 英寸双轴全自动精密划片机，可支持硅片、石英等多种材料精密切割，覆盖 IC、医疗器械等多行业应用，切割精度优异且自动化效率对标进口产品，目前已实现产业化销售并获得大量客户认可。
加工尺寸
Φ 6"/8"
主轴配置
对向式双主轴
| 分类 | 参数名称 | 参数值 |
|---|---|---|
| 工作尺寸 | - | Φ6" - Φ8" |
| 配置 | 主轴形式 | 双轴 |
| 主轴 | 输出功率 | 1.2/1.8/2.4/3.0 kW |
| 最大转速 | 60000 rpm | |
| 刀片尺寸 | - | 2" |
| Y1/Y2轴 | 单步步进量 | 0.0001 mm |
| 到位精度 | ＜0.003 mm/210 ＜0.002 mm/5 | |
| 切割范围 | 210 mm | |
| X轴 | 进刀速度输入范围 | 0.1-600 mm/s |
| Z1/Z2轴 | 单步步进量 | 0.0001 mm |
| 到位精度 | ≤0.001 mm | |
| θ轴 | 最大旋转角度 | ±15″ |
| 清洗台 | 旋转速度 | 100-3000 rpm |
| 清洗方式 | 全自动冲洗并甩干 | |
| 工作电压 | - | 三相 380V 50Hz |
| 设备信息 | 长宽高 | 1072×1481×1940 mm |
| 重量 | 1700 Kg |
BBD刀片破损检测
NCS非接触式测高
在线磨刀
全自动切割
硅基晶圆
碳化硅SiC
钽酸锂/铌酸锂
砷化镓
FOPLP玻璃基板
LED封装
集成电路
陶瓷基板
探索更多设备
需要定制化的解决方案？
我们的技术专家团队将为您量身定制最优的设备配置方案，并提供全流程的技术支持与服务保障。
联系技术专家