6英寸自动精密划片设备
AR3000
AR3000 是一款单轴自动精密切割机，可适配 6 英寸硅片、陶瓷、PCB 板等多种材料的精密切割，广泛应用于 IC、LED、MEMS、光伏、医疗器械等半导体行业。该设备集成自动对准、切割与刀痕检测功能，生产效率高；采用进口精密传动与闭环控制，切割精度稳定；支持定制化适配，Wafer/PKG切换便捷，可靠性优异，同时还具备占地面积小、性价比高的突出优势。
加工尺寸
Φ 6"
主轴配置
单主轴
| 分类 | 参数名称 | 参数值 |
|---|---|---|
| 加工尺寸 | - | 6" / 160×160 mm |
| 主轴 | 输出功率 | 1.2/1.5/1.8/2.4/3.0 kW（30,000 rpm） |
| 转速范围 | 6,000 - 60,000 rpm | |
| Y轴 | 行程 | 58 mm |
| X轴 | 分辨率 | 0.0001 mm |
| 精度 | 0.002 mm | |
| Z轴 | 速度范围 | 0.1 - 500 mm/s |
| θ轴 | 分辨率 | 0.001 mm |
| 电源 | - | 220V 50Hz |
| 设备信息 | 宽深高 | 600×970×1600 mm |
| 重量 | 600 Kg |
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