8英寸全自动晶圆环切设备

AR6100RR

AR6100RR 是专为 8英寸 TAIKO 工艺打造的全自动环切取环设备,采用全景视窗设计,维护空间充足且门体互不干涉,运行安全可靠。设备沿用三点卡爪定位与背光灯式对准技术,同时升级搭载闭环电机控制、斜度定位卡爪与光电回零传感,搭配三点双锁紧调平结构,实现了更高的定位精度与重复稳定性,无需重复回零且能有效避免粘膜风险;背部打光的对准方式无图形干扰,边界清晰报警少,辅以透光孔与光源清洗吹气设计,全面保障了环切取环的工艺品质与长期运行稳定性。

加工尺寸

Φ 8"

主轴配置

单主轴
分类 参数名称 参数值
工作尺寸 Φ8"
主轴 配置方式 单主轴
输出功率 1.2/1.8/2.4/3.0 kW at 30,000rpm
转速范围 3,000 - 60,000 rpm
刀片尺寸 最大 Φ58 mm
Y 轴 可切割范围 210 mm
单步步进量 0.0001 mm
到位精度 < 0.008 mm/210 < 0.002 mm/5
X 轴 可切割范围 210 mm
Z 轴 移动量分辨率 0.00005 mm
重复精度 0.001 mm
θ 轴 最大旋转角度 380°
环切精度 ±50 μm
晶圆定位精度 ±50 μm
单片效率 8 min/pcs
多片效率 最多 4 片同时加工
工作电压 三相 380V 50Hz
设备信息 长宽高 2209×1554×2071 mm
重量 ≈ 2800 Kg

BBD刀片破损检测

BBD刀片破损检测

NCS非接触式测高

NCS非接触式测高

在线磨刀

在线磨刀

全自动切割

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