20英寸自动精密划片设备

AR8100

AR8100 是一款特大尺寸全自动双轴精密切割机,最大支持20英寸/500x500mm产品,可适配硅片、陶瓷、PCB 板、EMC、石英、玻璃等多种材料的切割,广泛应用于 IC、LED、MEMS、光伏、医疗器械等行业。它最大支持 500×500mm 超大尺寸加工,采用双轴高效切割模式,效率较单机提升约 80%;配备精密进口传动与闭环控制,切割精度稳定;支持多片同盘双刀切割、自动校准与刀痕检测,可定制切割框与台面,适配复杂工艺,功能全面且效率突出。

加工尺寸

Φ 20" / 500x500mm

主轴配置

对向式双主轴
分类 参数名称 参数值
加工尺寸 - 20" / 500×500 mm
主轴 输出功率 1.8/2.4/3.0 kW(30,000 rpm)
转速范围 6,000 - 60,000 rpm
Y轴 行程 110 mm
X轴 分辨率 0.0001 mm
精度 0.008 mm
Z轴 速度范围 0.1 - 600 mm/s
θ轴 分辨率 0.001 mm
电源 - 380V 50Hz
设备信息 宽深高 1350×1720×1840 mm
重量 1600 Kg
硅基晶圆

硅基晶圆

碳化硅SiC

碳化硅SiC

钽酸锂/铌酸锂

钽酸锂/铌酸锂

砷化镓

砷化镓

FOPLP玻璃基板

FOPLP玻璃基板

LED封装

LED封装

集成电路

集成电路

陶瓷基板

陶瓷基板

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