JTA-9612

Полностью автоматическая установка шлифования, полирования, наклеивания и снятия плёнки

Размер обработки	-	Max. 300 mm（8"/12"）
Конфигурация	Тип шпинделя	Три шпинделя
Шпиндель	Выходная мощность	≥6.3 kW
	Диапазон частоты вращения	1000-4000 rpm
Z axis	Z1/Z2 stroke	120 mm / 65 mm
	Z3 stroke	65 mm
	Скорость подачи	6 m/min
	Скорость быстрого перемещения	2 mm/s
	Минимальное перемещение	0.1 μm
	Разрешение	0.1 μm
Толщиномер	Диапазон измерения	0-1250 μm
	Разрешение	0.1 μm
	Повторяемость	±0.5 μm
X axis (Z3)	Ход	290 mm
	Разрешение	2 μm
	Скорость перемещения	≤200 mm/s
Вакуумный стол	Тип стола	Пористый керамический стол
	Количество	4
	Диапазон частоты вращения	0-300 rpm
	Способ очистки	Автоматическая очистка точильного камня
Шлифовальный круг	Алмазный шлифовальный круг	Φ313 mm
	Полировальный круг	Круг сухого полирования Φ458 мм
Вакуумный насос	Вакуумное давление	-90 kPa (water ≥15℃ flow ≥3L/min)
	Мощность	1.5 kW
	Расход воды	3 L/min
Точность обработки (шлифование и полирование)	Разнотолщинность одной пластины	≤2.5 μm
	Разность толщины пластин одной партии	≤3 μm
	Шероховатость поверхности	Ra0.2 μm (325#) Ra0.02 μm (2000#) Ra0.005 μm (Polishing)
УФ-модуль	-	Воздушное охлаждение и контроль температуры
Бесконтактный поиск края	-	Есть
Нагреватель	Диапазон температуры	MAX 100°C ±3°C
Точность наклеивания и снятия плёнки	Точность установки пластины	X/Y ±0.5 mm ±0.5°C
	Точность ленты для резки	X/Y ±1 mm
Данные оборудования	Ширина, глубина и высота	3300×4400×1800 mm
	Масса	9100 Kg

Материал готовится.

Нужно индивидуальное решение?

Наши технические специалисты подберут оптимальную конфигурацию оборудования и обеспечат комплексную техническую поддержку на всех этапах.

Связаться со специалистом

JTA-9612

AG6800

AG7500

AG9500

Нужно индивидуальное решение?