全自动减薄抛光贴撕膜一体机
JTA-9612
JTA-9612 是全自动研磨抛光贴撕膜一体机，集成晶圆背面研磨与应力释放工序，可实现 25μm 以下超薄晶圆加工，适配半导体、光学玻璃、陶瓷等材料的精密减薄抛光。设备采用三轴四工位架构，常规晶圆产能 WPH≥20pcs；配备大尺寸干式抛光垫达成纳米级光洁度，加工破片率≤1/10000，可选接触 / 非接触双测高方案，同时可满足 DBG、SDBG 等多类工艺生产。
加工尺寸
Φ 12"
主轴配置
三主轴
| 分类 | 参数名称 | 参数值 |
|---|---|---|
| 加工尺寸 | - | Max. 300 mm（8"/12"） |
| 配置 | 主轴形式 | 三主轴 |
| 主轴 | 输出功率 | ≥6.3 kW |
| 转速范围 | 1000-4000 rpm | |
| Z轴 | Z1/Z2行程 | 120 mm / 65 mm |
| Z3行程 | 65 mm | |
| 进给速度 | 6 m/min | |
| 快速移动速度 | 2 mm/s | |
| 最小位移量 | 0.1 μm | |
| 分辨率 | 0.1 μm | |
| 高度计 | 测量范围 | 0-1250 μm |
| 分辨率 | 0.1 μm | |
| 重复精度 | ±0.5 μm | |
| X轴（Z3） | 行程 | 290 mm |
| 分辨率 | 2 μm | |
| 移动速度 | ≤200 mm/s | |
| 真空吸盘 | 吸盘类型 | 多孔陶瓷吸盘 |
| 数量 | 4 | |
| 转速范围 | 0-300 rpm | |
| 清洗方式 | 油石自动清洗 | |
| 磨轮 | 金刚石砂轮 | Φ313 mm |
| 抛光轮 | 干抛轮 Φ458 mm | |
| 真空泵 | 真空压力 | -90 kPa（水≥15℃ 流量≥3L/min） |
| 功率 | 1.5 kW | |
| 耗水量 | 3 L/min | |
| 加工精度(减薄抛光) | 单片晶圆厚度差 | ≤2.5 μm |
| 同批晶圆厚度差 | ≤3 μm | |
| 表面粗糙度 | Ra0.2 μm (325#) Ra0.02 μm (2000#) Ra0.005 μm (Polishing) | |
| UV单元 | - | 风冷、温度监控 |
| 非接触式寻边器 | - | 具备 |
| 加热器 | 温度范围 | MAX 100°C ±3°C |
| 加工精度(贴撕膜) | 晶圆贴装精度 | X/Y ±0.5 mm ±0.5° |
| 切割胶带精度 | X/Y ±1 mm | |
| 设备信息 | 宽深高 | 3300×4400×1800 mm |
| 重量 | 9100 Kg |
Z向微进给控制系统
多片同时磨削
实时高精度晶圆测厚
超薄晶圆加工
超薄晶圆
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