JTA-9612
全自動研削・研磨・貼付・剥離一体型装置
| 加工サイズ | - | Max. 300 mm（8"/12"） |
|---|---|---|
| 構成 | スピンドル形式 | 3スピンドル |
| スピンドル | 出力 | ≥6.3 kW |
| 回転数範囲 | 1000-4000 rpm | |
| Z axis | Z1/Z2 stroke | 120 mm / 65 mm |
| Z3 stroke | 65 mm | |
| 送り速度 | 6 m/min | |
| 高速移動速度 | 2 mm/s | |
| 最小変位 | 0.1 μm | |
| 分解能 | 0.1 μm | |
| 厚さ測定器 | 測定範囲 | 0-1250 μm |
| 分解能 | 0.1 μm | |
| 繰返し精度 | ±0.5 μm | |
| X axis (Z3) | ストローク | 290 mm |
| 分解能 | 2 μm | |
| 移動速度 | ≤200 mm/s | |
| 真空チャック | チャック形式 | 多孔質セラミックチャック |
| 数量 | 4 | |
| 回転数範囲 | 0-300 rpm | |
| 洗浄方式 | 砥石自動洗浄 | |
| 研削ホイール | ダイヤモンド研削ホイール | Φ313 mm |
| 研磨ホイール | 乾式研磨ホイール Φ458 mm | |
| 真空ポンプ | 真空圧 | -90 kPa (water ≥15℃ flow ≥3L/min) |
| 出力 | 1.5 kW | |
| 水使用量 | 3 L/min | |
| 加工精度（研削・研磨） | 単一ウェーハ厚さ差 | ≤2.5 μm |
| 同一バッチ内ウェーハ厚さ差 | ≤3 μm | |
| 表面粗さ | Ra0.2 μm (325#) Ra0.02 μm (2000#) Ra0.005 μm (Polishing) | |
| UVユニット | - | 空冷・温度監視 |
| 非接触エッジ検出 | - | あり |
| ヒーター | 温度範囲 | MAX 100°C ±3°C |
| 加工精度（フィルム貼付・剥離） | ウェーハ配置精度 | X/Y ±0.5 mm ±0.5°C |
| ダイシングテープ精度 | X/Y ±1 mm | |
| 装置情報 | 幅・奥行き・高さ | 3300×4400×1800 mm |
| 重量 | 9100 Kg |
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