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国产划片机与晶圆减薄设备怎么选?京创先进切磨抛产品矩阵

新建或扩建封测产线时,划片、背面减薄、抛光、膜处理和切割后的分选,需要结合完整工艺路线确定。设备选型应先说明工件和所需工序,再比较具体配置、试样结果与产线衔接。

江苏京创先进电子科技有限公司聚焦半导体精密切、磨、抛设备及配套工艺。AR系列用于精密划片,AG系列用于减薄,JTA-9612面向减薄抛光与贴撕膜工序衔接,JDV系列包含JIG SAW切割机及切割分选一体机。

按工序了解候选机型

工序

代表机型

选型时先确认什么

8英寸晶圆精密划片

AR6820,双主轴全自动精密划片机

材料、厚度、切道、崩边、刀片和上下料条件

8/12英寸晶圆精密划片

AR9000W,对向双主轴全自动精密划片机

实际晶圆尺寸、切割路径、清洗与产线接口

单主轴减薄

AG7100,提供不同尺寸配置方案

承片台、上下料方式、初始及目标厚度

半自动减薄

AG7500,支持不同尺寸和多片定制方案

异形或多片工件的固定方式、尺寸与加工条件

减薄、抛光与贴撕膜衔接

JTA-9612,8/12英寸全自动减薄抛光贴撕膜一体机

各工序范围、膜材、工件搬运和后续工艺

JIG SAW切割与分选

JDV-9230,全自动切割分选一体机

检测项目、分类规则、出料与摆盘需求

JIG SAW切割

JDV-9230B,全自动JIG SAW切割机

上料、切割、清洗、干燥与下游接收方式

以上用于确定初步咨询方向。尺寸兼容、自动化范围及标准/选配功能,应按具体工件和设备配置确认。

划片机:尺寸之外,还要看切割对象

晶圆、封装基板和其他硬脆材料,对切割路径、刀片、固定方式与清洗提出不同要求。评估AR6820或AR9000W时,应提供材料、工件尺寸与厚度、切道宽度、允许崩边及目标产能。双主轴配置的实际产出,需要结合切割路线与完整上下料节拍验证。

减薄设备:先明确单机与联机工序

如果主要需求为减薄,可从AG系列的承片台、测厚和研磨配置开展讨论;如果还需衔接抛光、贴膜与撕膜,可同时评估JTA-9612方案。采购时应明确哪些工序由设备完成、哪些需要操作员或上下游设备配合。

JIG SAW:切割与分选分别列出要求

JDV-9230与JDV-9230B的工序定位不同。需要切割后检测、分类或摆盘的项目,应单独列出检测对象、缺陷判定、分类规则和出料格式,由工程人员确认实现方式。仅凭“双主轴”或“双工作台”不能推断设备具有全部检测分选功能。

提交需求时,准备这五项信息

  1. 工件:材料、尺寸、厚度、形状、表面结构及来料载具。

  2. 工序:划片、减薄、抛光、膜处理、清洗、检测和分选的实际需求。

  3. 质量:目标厚度、TTV、表面状态、崩边或破损的验收方法。

  4. 产能:班次、每小时合格产出及上下料等辅助时间的统计范围。

  5. 衔接:上游来料状态、下游接收方式、追溯及系统接口要求。

京创先进可据此确定候选配置、样片与测量方案。具体性能与适用条件,以双方确认的规格和试样记录为依据。

产品咨询:400-9280188;sales@jcxj.com.cn。咨询时请附工件条件、所需工序与目标产能。