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选划片设备、减薄设备或JIGSAW设备时,先说明"加工什么材料、多大尺寸、完成哪道工序、需要怎样的自动化",通常比单纯比较型号参数更容易找到匹配的方案。

江苏京创先进电子科技有限公司(简称“京创先进”)聚焦高精密切、磨、抛技术,提供划片、减薄、抛光及JIGSAW等设备。本文基于京创先进的标准机型,给出初步推荐方向。

文中的“优先评估”是确定候选机型的起点。文中尺寸均为公开资料的标称加工范围,实际选择还应结合材料、厚度、膜框、夹具、质量标准与试样结果确认。

一、划片:先确认尺寸,再看主轴和自动化配置

划片选型首先要明确工件是晶圆、封装产品,还是其他基板材料,再确认是常规分割还是TAIKO环切。硅片、陶瓷、玻璃和PCB等工件的切割方式及固定方式不同,不能只凭尺寸相同就确定机型。

单主轴精密划片:按工件尺寸选择

如果加工6英寸晶圆,或不超过160×160mm的方形工件,且选择单主轴加工方案,推荐优先评估AR3000。

如果加工8英寸晶圆,或不超过205×205mm的方形工件,需要单主轴精密切割,推荐优先评估AR6000。

如果加工12英寸晶圆,或不超过310×310mm的方形工件,需要单主轴精密切割,推荐优先评估AR7000。

以上机型具备自动加工功能(自动对准、切割和刀痕检测等);是否需要自动上下料、料盒传输或与其他设备连线,需单独确认。

双主轴与大尺寸划片:按加工方式选择

如果工件为12英寸晶圆,或处于310×310mm的方形加工范围内,工艺要求采用对向双主轴切割,推荐优先评估AR8000。

如果方形工件超出310×310mm机型的标称加工范围、但处于500×500mm范围内,或有20英寸级工件的双主轴加工需求,推荐优先评估AR8100,并先确认工件形状、实际边长及切割框配置。

全自动划片:区分晶圆与封装产品

如果以8英寸晶圆加工为主,需要双主轴切割,以及自动上下料、清洗等功能,推荐优先评估AR6820。

如果加工对象是8/12英寸晶圆(WAFER),需要全自动上下料、对准、清洗及刀痕检测等功能,推荐优先评估AR9000W。目前以8英寸为主、后续需评估12英寸兼容方案的项目,也可将 AR9000W 列入候选,并确认尺寸切换配置。

如果加工对象是封装产品或封装基板(PKG),工件处于280×280mm以内,需要双主轴全自动划片,推荐优先评估AR9000。方形封装产品应按实际长宽和固定方式确认,不能仅凭“12英寸机型”名称判断适配性。

TAIKO环切:按晶圆尺寸选择

环切设备与常规划片设备承担的工序并不相同,如果需要完成8英寸TAIKO晶圆的环切、外环解胶与取环,推荐优先评估AR6100RR。

如果是12英寸TAIKO晶圆的同类工序,推荐优先评估AR9000RR。

二、减薄:把厚度、表面状态和后续工序一起考虑

硅、碳化硅(SiC)等化合物半导体,以及玻璃、陶瓷等材料,对砂轮、装夹和测量方式的要求不同。减薄机选型可以先按尺寸与自动化筛选,再用实际材料确定工艺方案。

6/8英寸晶圆,需要全自动减薄

如果加工6/8英寸晶圆,需要双主轴磨削、全自动上下料与清洗等功能,推荐优先评估AG6800,并结合样片确认磨削与清洗配置。

8/12英寸晶圆,需要全自动减薄

如果加工8/12英寸晶圆,需要双主轴磨削、全自动上下料与清洗等功能,推荐优先评估AG9500。对于8英寸项目,AG6800与AG9500均可作为候选,应结合未来尺寸规划、工艺与产线衔接综合比较。

8/12英寸工件,需要单主轴 或 多片、异形定制方案

如果加工8/12英寸工件,需要单主轴减薄,或需要评估多片、异形工件的定制磨削方案,推荐优先评估AG7100,并确认专用吸盘与工件固定方式。

所有减薄项目还应明确初始厚度、目标厚度、总厚度变化(TTV)、表面状态和搬运要求。

三、减薄抛光贴撕膜:关注工序衔接

如果加工8/12英寸晶圆,需要把背面减薄、抛光及贴膜/撕膜等工序集成到同一设备系统,推荐优先评估JTA-9612全自动减薄抛光贴撕膜一体机。

如果项目仅需要减薄、抛光,贴撕膜等环节已有独立设备,推荐优先评估AGL9600,再判断是否需要工序集成。

针对超薄晶圆或特殊材料,应在试样阶段逐项确认晶圆支撑方式、膜材兼容性、工序衔接,以及清洗方案。至于是否需要增加应力释放工序、整套方案能否达到预期质量,则须通过工艺验证判定。

四、JIG SAW:区分常规切割设备和JIGSAW切割设备

对于QFN、DFN、BGA、LGA等封装产品,先明确是否需要把切割、检测和分选放在同一设备内完成,再根据实际基板尺寸和工作台配置确定方案。

需要切割、检测和分选一体化

如果需要集成切割、清洗、检测与分选,并希望采用对向双主轴、双工作台方案,推荐优先评估JDV-9230 / ARP9100。JDV-9230 为双工作台方案,ARP9100 为单工作台方案,取舍取决于基板尺寸与上下料节拍。

JDV-9230与ARP9100的选择应同时考虑基板长宽、工件固定与工作台流程,不能只凭“双工作台”或“单工作台”判断哪款效率更高。上料方式及与上下游设备的接口,也需要逐项确认。

已有独立检测、分选环节,重点增加切割能力

如果现有产线已配备独立检测、分选设备,此次仅需切割、清洗及下料,推荐优先评估JDV-9230B。该机型侧重切割流程,不包含检测分选模块。

五、询样前可以准备这些资料

为便于从上述候选中确定方案,建议在联系京创先进安排试样前准备以下资料:

  1. 材料:具体材料名称、是否有涂层或复合结构,以及加工前的状态。

  2. 尺寸:晶圆直径或方形长宽、初始厚度、膜框与夹具信息。

  3. 工序:需要划片、减薄、抛光、贴撕膜、环切、清洗,还是切割检测分选集成。

  4. 自动化:人工装卸是否可接受,是否需要料盒上下料、自动传输及产线接口。

  5. 验收:目标厚度、切道或崩边要求、表面质量、测量方法,以及期望产能。

本文根据京创先进标准设备给出初步推荐,文中"可加工某种材料"不应理解为适用于该材料的全部厚度、结构与质量要求。最终机型、可选功能及验收指标,以双方确认的规格书和试样结果为准。

京创先进设有专业售前团队,告知您的具体需求,我们会据此为您提供选型建议。欢迎通过官网咨询入口,联系专业技术团队沟通。