AG6800
8인치 전자동 연삭 장비
| 가공 크기 | - | 6"~8" |
|---|---|---|
| 구성 | 스핀들 형식 | 듀얼 스핀들 |
| 스핀들 | 출력 | 4.5/7.5 kW |
| 회전수 범위 | 1000-5000 rpm | |
| Z axis | 스트로크 | 120 mm |
| 최소 이송 속도 | 6 μm/min | |
| 고속 이동 속도 | 2 mm/s | |
| 최소 변위 | 0.1 μm | |
| 두께 측정기 | 측정 범위 | ±1 mm |
| 분해능 | 0.1 μm | |
| 반복 정밀도 | ＜0.5 μm | |
| 진공 척 | 척 형식 | 다공성 세라믹 척 |
| 회전수 범위 | 0-300 rpm | |
| 세정 방식 | 숫돌 브러시 세정 | |
| 연삭 휠 | 다이아몬드 연삭 휠 | Φ209 mm |
| 진공 펌프 | 진공 압력 | -90 kPa (water ≥15℃ flow ≥3L/min) |
| 출력 | 1.5 kW | |
| 용수 사용량 | 3 L/min | |
| 가공 정밀도 | 단일 웨이퍼 두께 차이 | ≤3 μm |
| 웨이퍼 간 두께 차이 | ≤3 μm | |
| 가공면 거칠기 | Ra0.2 μm (325#) Ra0.02 μm (2000#) | |
| 장비 정보 | 폭·깊이·높이 | 1200×2800×1900 mm |
| 중량 | ≈4100 Kg |
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