AG7500

12인치 전자동 연삭 장비

가공 크기	-	Φ6″, Φ8″, Φ12″, multiple pieces customized
구성	스핀들 형식	싱글 스핀들
스핀들	출력	7.5 / 1.2 kW
	회전수 범위	1000-4000 rpm
Z axis	스트로크	80 mm
	최소 이송 속도	6 μm/min
	고속 이동 속도	2 mm/s
	최소 변위	0.1 μm
두께 측정기	측정 범위	±1 / ±2 / ±5 / ±25 mm
	분해능	0.1 μm
	반복 정밀도	≤ ±0.5 / ≤±1 / ≤±15 / ≤±25 μm
진공 척	척 형식	다공성 세라믹 척
	회전수 범위	일반: 0~300 rpm, 복수 장: 0~200 rpm
	세정 방식	숫돌 수동 세정
연삭 휠	다이아몬드 연삭 휠	Φ313 mm
진공 펌프	진공 압력	-90 kPa (water ≥15℃ flow ≥3L/min)
	출력	1.5 kW
	용수 사용량	3 L/min
가공 정밀도	단일 웨이퍼 두께 차이	≤3 μm
	웨이퍼 간 두께 차이	≤3 μm
	가공면 거칠기	Ra0.2 μm (325#) Ra0.02 μm (2000#)
장비 정보	폭·깊이·높이	840x1920x1750 mm
	중량	≈2100 Kg

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