AG7500

12インチ全自動研削装置

加工サイズ	-	Φ6″, Φ8″, Φ12″, multiple pieces customized
構成	スピンドル形式	シングルスピンドル
スピンドル	出力	7.5 / 1.2 kW
	回転数範囲	1000-4000 rpm
Z axis	ストローク	80 mm
	最小送り速度	6 μm/min
	高速移動速度	2 mm/s
	最小変位	0.1 μm
厚さ測定器	測定範囲	±1 / ±2 / ±5 / ±25 mm
	分解能	0.1 μm
	繰返し精度	≤ ±0.5 / ≤±1 / ≤±15 / ≤±25 μm
真空チャック	チャック形式	多孔質セラミックチャック
	回転数範囲	通常：0～300 rpm、複数枚：0～200 rpm
	洗浄方式	砥石手動洗浄
研削ホイール	ダイヤモンド研削ホイール	Φ313 mm
真空ポンプ	真空圧	-90 kPa (water ≥15℃ flow ≥3L/min)
	出力	1.5 kW
	水使用量	3 L/min
加工精度	単一ウェーハ厚さ差	≤3 μm
	ウェーハ間厚さ差	≤3 μm
	加工面粗さ	Ra0.2 μm (325#) Ra0.02 μm (2000#)
装置情報	幅・奥行き・高さ	840x1920x1750 mm
	重量	≈2100 Kg

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