直角刀修刀应用

针对直角刀随刀数增加、开槽直角效果衰减的行业共性难题，以修刀工艺精准恢复刀片性能，延长刀具使用寿命、降低耗材成本，保障垂直 90° 侧壁加工的稳定性。

工艺目标：垂直 90° 侧壁
使用设备：AR9000W

工艺背景

随着半导体器件微型化、晶圆超薄化、化合物半导体普及，以及先进封装对高精度沟槽需求的提升，为实现垂直 90° 侧壁、低崩边、低损伤、高一致性的微槽加工，直角刀开槽在半导体切割的特定场景下存在必要性。

然而直角刀在加工过程中承受切削力大，随着刀片磨损会导致切割直角效果异常，直接影响产品质量与生产效率，成为行业共性难题。

核心痛点

直角刀开槽面临的关键技术挑战，集中在刀具寿命与加工品质的矛盾上：直角刀片随着开槽刀数增加，切割直角效果显著下滑，而频繁换刀又会带来停机损失与耗材成本的双重压力。

• 耗材成本高：直角刀片开槽随刀数增加，开槽直角效果显著下滑，频繁更换刀片造成高昂耗材成本。

• 生产损失大：换刀停机直接影响产能，良率波动明显。

• 品质不稳定：直角效果随刀数衰减，产品一致性差。

解决方案：直角刀修刀工艺

京创先进创新推出直角刀修刀方案，通过精准恢复刀片性能，有效解决直角刀随刀数增加切割效果下滑的行业难题，显著增加直角刀片使用寿命，降低耗材成本。

• 精准恢复刀片性能，延长刀片使用寿命

• 显著降低刀片耗材成本与换刀频次

• 保障切割直角效果稳定，提升产品良率

• 减少停机换刀时间，提升整体生产效率

修刀前后效果对比

修刀前

切割道直角效果异常（实测 95.15° / 86.63°），开槽角度偏离目标值，产品良率下降，需频繁更换刀片以维持加工品质。

修刀后

恢复至新刀水平（实测 90.47° / 92.00°），开槽角度接近理想 90°，可继续高效切割，显著延长刀片使用寿命、降低耗材成本。