AR6100RR 全自动环切机

主要特点:

▏多轴联动环切技术,保证环切精度。
定制化工作台设计,保证TAIKO工艺下晶圆特殊结构稳定加工。
四工位,多片协调加工,加工效率高。
全自动上下料、传输定位、清洗 、解胶、取环,实现全自动运行模式,大大降低OP工作量。
稳定的TAIKO外环解胶和取环。
兼容性好,与市面上的其他类型设备,关键耗材兼容性高。
便捷的操作和人机交互界面。


先进功能:
☑ 掉环检测功能;
工作台自动清洗功能;
智能UV解胶系统;
 操作日志记录功能;
二流体清洗功能;
真空预警与真空管路去水功能;
搬运撞击检测功能;
 条形二维码识别功能;
 *工厂自动化模块;
 *软件定制。
详情

最大工作物尺寸

mm

Ø8" 

主轴

配置方式

 

单轴

 

转速

Rpm

3,000-60,000

 

输出功率

kW

1.8(2.4可选) at 30,000min-1

 

最大刀片径

mm

Ø58

X轴

可切割范围

mm

310

Y轴

可切割范围

mm

310

 

单步步进量

mm

0.0001

 

定位精度

mm

0.003以内/310  0.002以内/5(单一误差)

Z轴

移动量分辨率

mm

0.00005

 

重复精度

mm

0.001

θ 轴

最大旋转角度

deg

380

主轴形式

 

单主轴,安装硬刀盘做环形切割

环切精度

μm

±50

晶圆定位精度

μm

±50

单片效率

min/片

9

多片效率

 

最多4片同时加工

设备重量

Kg

2,800

设备尺寸/ W*D*H

mm

2,209*1,554*2,071

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