主要特点：
▏多轴联动环切技术，保证环切精度。
▏定制化工作台设计，保证TAIKO工艺下晶圆特殊结构稳定加工。
▏四工位，多片协调加工，加工效率高。
▏全自动上下料、传输定位、清洗 、解胶、取环，实现全自动运行模式，大大降低OP工作量。
▏稳定的TAIKO外环解胶和取环。
▏兼容性好，与市面上的其他类型设备，关键耗材兼容性高。
▏便捷的操作和人机交互界面。
|
最大工作物尺寸 |
mm |
Ø8" |
|
|
主轴 |
配置方式 |
|
单轴 |
|
|
转速 |
Rpm |
3,000-60,000 |
|
|
输出功率 |
kW |
1.8(2.4可选) at 30,000min-1 |
|
|
最大刀片径 |
mm |
Ø58 |
|
X轴 |
可切割范围 |
mm |
310 |
|
Y轴 |
可切割范围 |
mm |
310 |
|
|
单步步进量 |
mm |
0.0001 |
|
|
定位精度 |
mm |
0.003以内/310 0.002以内/5（单一误差） |
|
Z轴 |
移动量分辨率 |
mm |
0.00005 |
|
|
重复精度 |
mm |
0.001 |
|
θ 轴 |
最大旋转角度 |
deg |
380 |
|
主轴形式 |
|
单主轴，安装硬刀盘做环形切割 |
|
|
环切精度 |
μm |
±50 |
|
|
晶圆定位精度 |
μm |
±50 |
|
|
单片效率 |
min/片 |
9 |
|
|
多片效率 |
|
最多4片同时加工 |
|
|
设备重量 |
Kg |
≈2,800 |
|
|
设备尺寸/ W*D*H |
mm |
2,209*1,554*2,071 |
|
总 部：江苏常熟经济技术开发区海城工业坊
研发中心：苏州相城区富阳工业坊4幢
电话：400-9280188
邮箱：support@jcxj.com.cn
网址：http://www.jcxj.com.cn
