AG9500
12インチ全自動研削装置
| 加工サイズ | - | 8"~12" |
|---|---|---|
| 構成 | スピンドル形式 | デュアルスピンドル |
| スピンドル | 出力 | 7.5/8.3 kW |
| 回転数範囲 | 1000-6000 rpm | |
| Z axis | ストローク | 120 mm |
| 最小送り速度 | 6 μm/min | |
| 高速移動速度 | 2 mm/s | |
| 最小変位 | 0.1 μm | |
| 厚さ測定器 | 測定範囲 | ±1 mm |
| 分解能 | 0.1 μm | |
| 繰返し精度 | ＜0.5 μm | |
| 真空チャック | チャック形式 | 多孔質セラミックチャック |
| 回転数範囲 | 0-200 rpm | |
| 洗浄方式 | 砥石ブラシ洗浄 | |
| 研削ホイール | ダイヤモンド研削ホイール | Φ313 mm |
| 真空ポンプ | 真空圧 | -90 kPa (water ≥15℃ flow ≥3L/min) |
| 出力 | 1.5 kW | |
| 水使用量 | 3 L/min | |
| 加工精度 | 単一ウェーハ厚さ差 | ≤3 μm |
| ウェーハ間厚さ差 | ≤5 μm | |
| 加工面粗さ | Ra0.2 μm (325#) Ra0.02 μm (2000#) | |
| 装置情報 | 幅・奥行き・高さ | 1480×3140×1820 mm |
| 重量 | ≈5200 Kg |
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