8英寸全自动晶圆环切设备

AR6100RR

AR6100RR 是专为 8英寸 TAIKO 工艺打造的全自动环切取环设备，采用全景视窗设计，维护空间充足且门体互不干涉，运行安全可靠。设备沿用三点卡爪定位与背光灯式对准技术，同时升级搭载闭环电机控制、斜度定位卡爪与光电回零传感，搭配三点双锁紧调平结构，实现了更高的定位精度与重复稳定性，无需重复回零且能有效避免粘膜风险；背部打光的对准方式无图形干扰，边界清晰报警少，辅以透光孔与光源清洗吹气设计，全面保障了环切取环的工艺品质与长期运行稳定性。